**Revue française de métrologie


n° 40, Vol. 2015-4, 33-39, DOI : 10.1051/rfm/2015017

Caractérisation électromagnétique large bande de couche mince en PZT aux fréquences micro-ondes

A broadband electromagnetic characterization of PZT thin film up to microwave frequencies

 

Oumy NDIAYE1,2, Michaël CHARLES1, Djamel ALLAL1 et Bertrand BOCQUET2

1 Laboratoire national de métrologie et d’essais (LNE), 29 avenue Roger Hennequin, 78197 Trappes Cedex, France, Djamel.Allal@lne.fr
2 Université de Lille 1, Sciences et Technologies, Cité Scientifique, 59655 Villeneuve d’Ascq Cedex, France.

Résumé : Une méthode permettant de déterminer les propriétés électromagnétiques d’une couche mince de titano-zirconate de plomb (PZT) est présentée dans cet article. Dans un premier temps nous exposons une méthode large bande permettant l’extraction des propriétés intrinsèques d’un substrat supportant une ligne coplanaire (CPW), puis nous procédons à un étalonnage TRL afin d’extraire la permittivité de la couche mince de PZT intégrée à une topologie coplanaire.

Abstract: A method for determining the electromagnetic properties of Lead Zirconate Titanate (PZT) thin films is presented in this paper. At first we introduce a broadband characterization method based on the extraction of the intrinsic properties of substrate supporting a coplanar waveguide and then we perform an accurate on-wafer TRL calibration technique to measure the permittivity of the PZT thin film embedded in a coplanar waveguide.

Mots clés : paramètres S, ligne coplanaire, PZT, permittivité, pertes tangentielles, ferroélectrique

Key words: S parameters, coplanar waveguide, PZT, permittivity, loss tangent, ferroelectric


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