**Revue française de métrologie


n° 35, Vol. 2014-3, 3-14, DOI : 10.1051/rfm/2014008

Mise en oeuvre de la méthode d’expansion continue pour le raccordement en basse pression absolue de 1 × 10-6 Pa à 1 × 10-3 Pa.

Implementation of the continuous expansion method for absolute low pressure traceability from 1 × 10-6 Pa to 1 × 10-3 Pa.

 

Frédéric BOINEAU, Julien GUILLOU et Mark PLIMMER

Laboratoire commun de métrologie LNE-CNAM (LCM), LNE, 1 Rue Gaston Boissier, 75724 Paris Cedex 15, France, frederic.boineau@lne.fr.

Résumé : La mise en oeuvre de la méthode de référence dite de l’expansion continue a pour but d’améliorer la traçabilité et l’incertitude des mesures de pression absolue entre 1×10-6 Pa et 1×10-3 Pa. La réduction d’un facteur 2 des meilleures possibilités d’étalonnage, soit une incertitude relative (k = 2) de 2,5 % sur la pression de référence, est un objectif tangible. Cet article décrit l’étude de l’expansion continue menée au LNE-LCM et dresse un bilan d’incertitude détaillé.

Abstract: The continuous expansion method is applied to reference standards of absolute pressure with the aim of improving traceability and reducing uncertainty in the range 1 × 10-6 Pa to 1 × 10-3 Pa. It is a realistic goal to reduce the relative uncertainty by a factor of two down to 2.5% (k = 2). This article describes a study of the method carried out at LNE-LCM. It includes a detailed uncertainty budget.

Mots clés : vide, métrologie, expansion continue, fluxmètre gazeux à pression constante.

Key words: vacuum, metrology, continuous expansion, constant pressure flowmeter.


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