**Revue française de métrologie


n° 23, Vol. 2010-3, 21-25, DOI : 10.1051/rfm/2010005

Étalonnage d’un analyseur de réseau vectoriel à partir d’un atténuateur pour des mesures sous pointes.

Attenuator based vector network analyser calibration for on-wafer measurements.

 

Djamel ALLAL1, Mebrouk BAHOUCHE2, Eric BERGEAULT2 et Alexis LITWIN1

1 LNE, 29 Avenue Roger Hennequin, 78197 Trappes Cedex, France, djamel.allal@lne.fr
2 TelecomParistech, 46 Rue Barrault, 75634 Paris Cedex 13, France.

Résumé : Dans le cadre de nos travaux sur la traçabilité des mesures de paramètres S réalisées sous pointes, nous proposons une méthode permettant de déterminer l’impédance de référence de la technique d’étalonnage TRA utilisée pour les analyseurs de réseau vectoriels. Nous montrons qu’il est possible de déterminer l’impédance de référence de l’étalonnage à partir d’une procédure d’étalonnage TRA modifiée pour réduire les incertitudes de mesures. Les résultats de mesure, comparés à ceux obtenus en utilisant la technique d’étalonnage de référence multiline TRL, montrent l’efficacité de la méthode jusqu’à 45 GHz.

Abstract: We propose a method to determine the reference impedance of the TRA calibration technique for vector network analysers. This method was developed within the framework of our activity on traceability of on-wafer S parameters measurements. Starting from a modified TRA calibration procedure, we demonstrate the possibility to determine the calibration reference impedance, and leading to a significant reduction of the measurement uncertainties. In comparison with results obtained using the reference multiline TRL calibration technique, the results that we obtain show the efficiency of the present method.

Mots clés : analyseur de réseau vectoriel, paramètres s , mesure sous pointes, étalonnage TRA.

Key words: vector network analyser, s parameters, on-wafer measurements, TRA calibration.


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