**Revue française de métrologie


n° 23, Vol. 2010-3, 11-25, DOI : 10.1051/rfm/2010004

Moyens de caractérisation des surfaces et leurs applications en métrologie.

Surface characterization devices and their applications in metrology.

 

Zaccaria SILVESTRI, Daniel du COLOMBIER, Stéphane MACÉ et Patrick PINOT

Laboratoire commun de métrologie LNE-Cnam Conservatoire national des arts et métiers (Cnam), 61 Rue du Landy, 93210 La Plaine Saint-Denis, France, zaccaria.silvestri@cnam.fr.

Résumé : Dans le cadre du projet de recherche portant sur l’analyse de l’activité de surface appliquée aux besoins de la métrologie de caractérisation de surface à l’échelle nanométrique et de la recherche technologique, de nombreuses améliorations et adaptations ont été entreprises sur les dispositifs d’analyse de surface du laboratoire. Cet article se propose de présenter un état des lieux de ces dispositifs en décrivant les principales améliorations apportées au cours de ces quatre dernières années et les résultats expérimentaux qui en découlent.

Abstract: Within the research project “surface activity analysis”, stretching over different metrological and technological topics, mass and nanotechnology for instance, improvements and adaptation have been carried out on different surface analysis devices in laboratories. The goal of this paper is to propose a review of the different developed devices, describing their main improvements for the past four years and to present the experimental results they produced.

Mots clés : métrologie des masses, métrologie nanodimentionnelle, activité de surface, phénomènes de sorption, caractérisation de surface, rugosité.

Key words: mass metrology, nanodimentional metrology, surface characterization, sorption phenomena, roughness.


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